很显然,前几天半导体业内流传的“日本某光刻胶大厂已执行美国实体清单的限制要求,对中国大陆某存储晶圆厂断供KrF光刻胶”并非空穴来风,美国联合日本、韩国、荷兰组成的chip4集团正在对我国半导体产业进行逐步封锁,由南向北拉起一道阻碍我国半导体发展的铁幕。
在现代化社会中,半导体的重要性不言而喻,而先进制程的研发推进,则决定着我国未来在新能源车、5G等领域的高度。所以,国产替代迫在眉睫。今天先来研究一下半导体材料中光刻胶的国产替代机会。
要想了解光刻胶,先从了解光刻工艺说起。
光刻是利用光学、化学、物理方法,将设计好的电路图转移到晶圆等表面,是半导体制造中的核心环节,成本约为整个硅片制造的三分之一,耗时约占整个硅片工艺的40%-60%。
而光刻胶是对光敏感的混合液体,是光刻工艺中最核心的材料。
在这里值得注意的是,光刻胶产品众多,即使同为 KrF 胶也会根据使用情景或工艺细分为上百个料号,即使是实现KrF胶量产的北京科华、徐州博康和晶瑞电材等也仅能实现少数种类的生产。
光刻胶主要由树脂、光敏材料、溶剂、单体和其他助剂组成。光刻胶树脂和光引发剂是影响光刻胶性能最重要的成分。
1、光刻胶树脂。
光刻胶树脂是光刻胶的核心组成部分,主要是用于把光刻胶中不同材料聚在一起的粘合剂,给予光刻胶机械和化学性质。光刻胶树脂在光刻胶原材料成本中占比约50%。
不同波长的光刻胶所使用的光刻胶树脂也有所不同。
PS:单体是树脂的合成材料。
电子级光刻胶树脂主要由日本垄断,国内仅有少数厂商可提供低端替代,在高端产品领域(KrF及以上)尚未有量产实力。
2、光敏材料
主要包括光引发剂和光致产酸剂。光引发剂,又称为光敏剂或者光固化剂,会对光辐射的能量发生反应,多用于G线/I线光刻胶。光致产酸剂(PAG),多用于KrF、ArF和EUV光刻胶中,PAG成本占光刻胶总成本的10%-20%。
来源:爱股票
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